استخراج یک مدل عددی مبنا جهت محاسبه میرایی ترموالاستیک یک تیر میکرو الکترومکانیکی

در این پژوهش، رفتار دینامیکی یک میکرو رزوناتور دو سر گیردار با در نظر گرفتن اثرات ترموالاستیک، به روش عددی بررسی شده است. به این صورت که ابتدا با استفاده از نرمافزار کامسول، شبیه سازی ترموالاستیک آن انجام شد. سپس با استفاده از آنالیز مودال، رفتار دینامیکی آن بررسی شد. کیفیت شبکه بندی و اندازه آنها برای مدل های مختلف ارزیابی شد. زمان حل مدل ترموالاستیک نیز از معیارهای انتخاب مدل مبنا بود که مورد توجه قرار گرفت. به عنوان مثال، با توجه به تقارن هندسه، شرایط مرزی و بارگذاری مسئله، از نصف مدل استفاده شد. با استخراج مدل عددی مبنا که هم سرعت حل آن مناسب باشد و هم بتواند دقت خوبی از نتایج را ارائه دهد، فرکانس های طبیعی، شکل مودهای متناظر با هر فرکانس، میرایی ترموالاستیک و همچنین ضریب کیفیت در هر مود از ارتعاشات تیر دو سر گیردار محاسبه شدند. نتایج به دست آمده از شبیه سازی عددی برای میراییترموالاستیک و ضریب کیفیت میکرو رزوناتور، مطابقت خوبی (حداکثر نزدیک به ۵ درصد اختلاف) را در مقایسه با نتایج حاصل از روش های تحلیلی موجود نشان می دهد. نتایج همچنین گویای این مسئله هستند که عدماستفاده درست از تعداد و نوع شبکه بندی سازه، منجر به اختلاف زیاد در نتایج و همچنین افزایش هزینه و زمان می شود.