آنالیز حساسیت توانایی تحریک میکروتیرهای پیزوالکتریک خود محرک

میکروتیرهای پیزوالکتریک به عنوان ابزاری کارآمد در سوئیچ های میکروالکترومکانیکی، میکروسکوپ نیروی اتمی و نانو تشدید گرها شناخته می شوند. از آنجایی که ایجاد دامنه حرکت ارتعاشی حداکثر با حداقل ولتاژ تحریک در کاهش مصرف انرژی و همچنین نویز این نوع میکروتیرها از اهمیت بالایی برخوردار است، بنابراین شناخت عوامل موثر بر توانایی تحریک این نوع میکرو تشدید گرها و میزان تاثیر هر یک از این عوامل می تواند نقشی موثر در طراحی و انتخاب بهینه این نوع تشدید گرها داشته باشد. به این ترتیب هدف این مقاله بررسی توانایی تحریک تشدیدگرهای پیزوالکتریک خود محرک می باشد. مدل سازی به کمک اصل همیلتون و با توجه به تئوری اویلر برنولی انجام می شود. معادله حرکت با در نظر گرفتن ناپیوستگی های هندسی با استفاده از روش گلر کین حل شده، نهایتا با استفاده از روش آماری سوبل آنالیز حساسیت بر روی توانایی تحریک تشدید گر انجام می پذیرد. نتایج آنالیز حساسیت نشان میدهند که طول و ضخامت لایه پیزوالکتریک تاثیرگذارترین پارامترها بر توانایی تحریک میکرو تشدیدگر بوده و به ازای 0 . 74 = L1 / L توانایی تحریک به حداکثر مقدار خود می رسد.